0371-5536 5392 0371-5519 9322
旋轉(zhuǎn)PECVD
1. 本產(chǎn)品為旋轉(zhuǎn)等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（旋轉(zhuǎn)PECVD），爐管采用變徑設(shè)計(jì)，中部管徑較粗且有有混料隔板，能夠隨著爐管的旋轉(zhuǎn)將粉體或者顆粒反復(fù)混合，通過機(jī)械傳動(dòng)控制工作管能360°不間斷旋轉(zhuǎn)，使得管內(nèi)物料攪拌混合獲得均勻受熱效果；
2. 配有等離子發(fā)生裝置，電感耦合與爐管連接，產(chǎn)生的等離子能滿布爐管，有效提高反應(yīng)物活化能，降低反應(yīng)溫度，提高反應(yīng)效率。
3. 配有三路質(zhì)量流量計(jì)及混氣裝置，可用于向路管內(nèi)通入多種氣體，同時(shí)設(shè)備配有高性能機(jī)械泵，能夠快速將爐管抽至真空；通過泵和氣路的配合可以實(shí)現(xiàn)多種CVD工藝。
應(yīng)用
旋轉(zhuǎn)裝置十分適合在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對(duì)粉末材料用CVD方法進(jìn)行包裹和修飾。
技術(shù)參數(shù)
|
雙溫區(qū)管式爐 |
產(chǎn)品型號(hào) |
TN-O1200-60IIC-R |
|
設(shè)備功率 |
3KW |
|
|
爐管材質(zhì) |
高純石英 |
|
|
爐管尺寸 |
Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm（石英異型管） |
|
|
爐膛長度 |
440mm |
|
|
加熱區(qū)長 |
200mm+200mm |
|
|
工作溫度 |
0～1150℃ |
|
|
極限溫度 |
1200℃ |
|
|
控溫精度 |
±1℃ |
|
|
熱電偶類型 |
K型熱電偶 |
|
|
控溫模式 |
30段程序控溫，PID參數(shù)自整定 |
|
|
顯示模式 |
高清全彩LCD觸控屏 |
|
|
密封方式 |
304不銹鋼真空法蘭 |
|
|
供電電源 |
AC:220V 50/60Hz |
|
|
旋轉(zhuǎn)速度 |
0~13rpm |
|
|
傾斜角度 |
0~35° |
|
|
3路質(zhì)量流量計(jì) |
產(chǎn)品型號(hào) |
CY-3Z |
|
氣路數(shù)量 |
3路 |
|
|
流量計(jì)類型 |
質(zhì)量流量計(jì) |
|
|
測量范圍 |
A路：0~100sccm; B路：0~200 sccm; C路：0~500 sccm |
|
|
測量精度 |
±1.5% |
|
|
工作壓差 |
0.1~0.5MPa |
|
|
管路接口 |
1/4英寸卡套接頭 |
|
|
供電 |
AC220V 50/60Hz |
|
|
真空系統(tǒng) |
真空泵 |
雙極旋片泵 |
|
抽速 |
1.1L/s |
|
|
抽氣接口 |
KF16 |
|
|
泵極限真空度 |
10E-1Pa |
|
|
供電 |
AC220V 50/60Hz |
|
|
射頻電源 |
信號(hào)頻率 |
13.56MHz±0.005% |
|
功率輸出范圍 |
0~500W |
|
|
*大反射功率 |
100W |
|
|
射頻輸出接口 |
50Ω，N-Type，female |
|
|
功率穩(wěn)定度 |
≤5W |
