超聲波氣氛加熱勻膠機是一款直徑300mm、靈活的旋轉勻膠設備，可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上，進而通過高速旋轉使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨進行旋涂操作。腔體內布有加熱元件，可在勻膠后進行烤膠操作。產品帶有兩路浮子流量計控制的氣路，可將惰性氣體通入腔體內，在勻膠時保護膠液不收空氣中的氣體影響。 此款勻膠機適用于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝、制版的表面涂覆?？蓜蚰z*大圓晶尺寸為12英寸，轉速可達3000rpm，加速度可達2000rpm；具有轉速穩定，啟動迅速，操作方便等優點，并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性，是一款性能優良的產品.

加熱勻膠機產品特征：

1. 采用直流無刷電機，單片機控制

2. 高清晰觸摸屏控制

3. 可進行單步多步勻膠操作，可存儲五種程序，每種程序可設置五步操作

4. 防堵膠設計

5. 鋁合金腔體，堅固耐用

6. 帶有超聲波，氣氛，加熱等多種輔助功能，為勻膠研究進行多種輔助

超聲波氣氛加熱勻膠機產品參數：

產品名稱	超聲波輔助氣氛勻膠機
圓晶尺寸	12英寸
旋轉速度	30~3000rpm可調
旋轉加速度	30~2000rpm/s可調
單次*長勻膠時間	3000s
勻膠腔體尺寸	φ390mm*90mm
電壓	220V 50Hz
功率	1.5KW
加熱溫度	0-100℃
質保時間	易損件除外，1年，終身技術支持
勻膠機真空吸盤	12寸 一個（標配）；6寸 一個（定制）
勻膠機定制純機械卡盤	12英寸 一個（額外定制）；6英寸 一個（額外定制）
無油真空泵	型號：AP-2000V 功率：0.55kw *低真空度：-700mmHg；-92Kpa *大空氣流量：200L/min；12M3/h 重量：10kg

超聲波系統

注射泵

流量計