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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
本型號(hào)等離子濺射儀，采用二級(jí)濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗(yàn)，本設(shè)備配備換位自轉(zhuǎn)式樣品臺(tái)，用戶可以在觸控屏上實(shí)現(xiàn)一鍵換位，樣品臺(tái)可在兩個(gè)靶位自由切換，本設(shè)備體積小巧造型美觀功能強(qiáng)大，是實(shí)驗(yàn)室鍍膜試驗(yàn)的*佳選擇
詳情介紹：
本型號(hào)等離子濺射儀，采用二級(jí)濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗(yàn)。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。本設(shè)備配備換位自轉(zhuǎn)式樣品臺(tái)，用戶可以在觸控屏上實(shí)現(xiàn)一鍵換位，樣品臺(tái)可在兩個(gè)靶位自由切換，到位后樣品臺(tái)還可進(jìn)行自轉(zhuǎn)，以增強(qiáng)鍍膜的均勻性。另外客戶可以選配晶振式膜厚儀對(duì)膜厚進(jìn)行監(jiān)測(cè)，以提高鍍膜的精準(zhǔn)度。
本設(shè)備體積小巧造型美觀功能強(qiáng)大，是實(shí)驗(yàn)室鍍膜試驗(yàn)的*佳選擇。
離子濺射儀技術(shù)參數(shù)：
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項(xiàng)目 |
明細(xì) |
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產(chǎn)品型號(hào) |
CY-PSP180G-1TA-SWR（switch換位rotate旋轉(zhuǎn)） |
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樣品臺(tái) |
直徑φ60mm， 可在兩個(gè)靶位間自動(dòng)切換 |
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直流濺射頭 |
2”x1 |
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腔體材質(zhì) |
高純石英 |
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腔體尺寸 |
φ180mm X 150mm |
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真空泵 |
旋片泵 |
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極限真空 |
1.0E-1Pa |
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真空接口 |
KF16真空法蘭 |
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進(jìn)氣口 |
φ6.35卡套接頭 |
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供電電源 |
AC 220V 50Hz |
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整機(jī)功率 |
1.5KW/2KW（旋轉(zhuǎn)加熱） |
